每日經濟新聞 2021-06-22 17:55:16
每經AI快訊，有投資者在投資者互動平臺提問：請問貴公司krf和ark光刻膠研發及產業化進展如何?
晶瑞股份（300655.SZ）6月22日在投資者互動平臺表示，您好！公司的KrF光刻膠完成中試，建成了中試示范線，目前已進入客戶測試階段，達到0.15μm的分辨率；公司ArF高端光刻膠研發工作已正式啟動，旨在研發滿足90-28nm芯片制程的ArF（193nm）光刻膠，滿足當前集成電路產業關鍵材料市場需求。感謝您對公司的關注與支持！
(記者 蔡鼎)
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